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堀場エステック社製品

大流量・エコノミーマスフローコントローラーSEC-E シリーズ

SECシリーズは、10 SCCM～500 SLM対応高流量タイプのマスフローコントローラーです。不活性ガス(N2、O2、Air、H2、Ar、He)対応の安価なMK3タイプも用意しています。

特長

  • 正確な質量流量制御
  • 高速応答：流量設定値まで1秒以下(T98)
  • ノーマリークローズの採用
  • オートゼロ機能搭載

仕様

型式
SEC-E40/E40MK3
SEC-E50/E50MK3
流量精度
±1% F.S.
対応ガス*1
非腐食性ガス( MK3はN2、O2、Air、H2、Ar、He ) (要指定)
標準仕様レンジ*2
10／20／30／50／100／200／300／500 SCCM
1／2／3／5／10SLM
20／30 SLM
動作差圧
10SCCM～5SLM：50～300kPa(d)
10～30 SLM：100～300kPa(d)
耐圧
1MPa(G)以下
標準継手
1／4 Swagwlok
入力圧力
MAX　300kPa
価格
170,000／99,500
200,000／138,000

＊1： 記載以外のガス種(非腐食性ガス)も対応可能です。詳細はお問い合わせください。
＊2： SCCM (mL/min )、SLM (L/min )は、0ºC、101.3kPaの校正を表す記号です。
注) 上記以外のSEC-E シリーズも取扱可能です。詳細はお問い合わせください。

SEC-Eシリーズ関連製品

SEC-Eシリーズを使用する際は、制御ユニットと信号ケーブルが必要です。

品名
価格
コントロールユニットPE-D20
90,000
信号ケーブル*SC-EDH-1M(1m)
14,000～

＊：1m以外に、2m、3m、5m、10mも用意しています。