発生ガス分析
発生ガス濃縮装置 MD 2570M・MD 2590M シリーズ
発生ガス濃縮装置MDシリーズは、チャンバーにサンプルをセットし任意の温度をかけることで、サンプルから発生する有機物質の濃縮分析を可能にします。高精度な発生ガス分析で、製品の開発や品質向上をサポートします。
オフラインタイプとオンラインタイプ
MDシリーズには、発生ガスの捕集のみを行い、GCへの導入は別途サンプルチューブを付け替えることで行う機種(MD 2570M、MD 2590M)と、発生ガスの捕集からGCへの導入を自動で行う機種(MD 2570, MD 2590)の二種類があります。
オフラインタイプ
オンラインタイプ
MD2590M(オフラインシステム)
MD 2590Mは、チャンバー内の試料から発生したガスを捕集管に捕集するまでの工程を行うオフラインシステムです。MD 2570Mに比べオーブンが大きく、対応するチャンバーが多いです。
特長
- 優れた温度安定性
- 400ºCまでの高温捕集が可能
- φ200までの石英チャンバーを設置可能
- パージガスエコモード機能搭載
- パージガス選択機能を搭載
仕様
内寸 | 320(W)× 380(D)× 205(H)mm |
使用温度 | 室温+20~400ºC |
加熱方式 | 強制熱風循環式空気恒温槽 |
対応チャンバー |
ホウケイ酸ガラス(内寸φ80 × 120(H)mm) (内寸φ163 × 130(H)mm) 石英(内寸φ100 × 50(H)mm) (内寸φ200 × 60(H)mm) |
パージガス | HeまたはN2、400~600 kPa |
大きさ | 1015(W)× 750(D)× 590(H)mm (扉開放時)1200(W)× 1170(D)× 890(H)mm |
重さ | 約75kg |
電源 | AC200 V 15 A、AC100 V 10 A |
MD 2590M オプション
片面排気機能 | ダブルトラップ |
ガラス基板、シリコンウエハなどのサンプル表面全体でなく、サンプルの片側のみの測定が必要な場合に用いる機能です。 | オーブンにバルブを組み込むことで、サンプルチューブを2本セットできます。設置したサンプルに対して、加熱温度帯や加熱時間帯などで分割し、別々のサンプルチューブに捕集できます。 |
MD2570M(オフラインシステム)
MD 2570MはMD 2590Mと比べ内寸が小さく、サンプルサイズが小さい場合に有効なシステムです。
特長
- 400ºCまでの高温捕集が可能
- φ100までの石英チャンバーを設置可能
仕様
内寸 | 250(W)× 160(D)× 250(H)mm |
使用温度 | 室温+20~400ºC |
加熱方式 | 強制熱風循環式空気恒温槽 |
対応チャンバー | ホウケイ酸ガラス(内寸φ80 × 120(H)mm) 石英(内寸φ100 × 1~50(H)mm以内対応) |
パージガス | He、400~588 kPa |
大きさ | 800(W)× 600(D)× 530(H)mm (扉開放時)950(W)× 910(D)× 620(H)mm |
重さ | 約55kg |
電源 | AC100 V 本体15 A、ポンプ3 A |
注)パージガスの選択機能やエコモードは搭載されていません。
注文時に、パージガス種の仕様を変更できます。
MD 2570M オプション
アプリケーション
MD 2590、MD 2570(オンラインシステム)
オンラインシステムは、サンプルのセットから分析部への導入までを自動で行うため、外気や人為的影響を受け難く、測定に不慣れな方でも簡単に精度の良い測定が可能です。ガスが通るラインは、保温されています。チャンバーの大きさにあわせてMD 2590、MD 2570より選択できます。