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純ガス中不純物分析装置

ヘリウム中不純物分析装置

ヘリウム中不純物分析装置

ヘリウム中不純物分析装置

概要

本装置は、H2、O2、N2をPDD検出器で、CH4、CO、CO2をFID検出器およびメタナイザーでそれぞれppmオーダーの定量ができるシステムです。キャリヤーガスにヘリウムを使うことで、主成分の影響を受けることなく、高感度分析が行えます。

分析成分

  • H2,O2,N2,CH4,CO,CO2

主な機器構成

  • ガスクロマトグラフ GC4000 FID+PDD 1台
  • メタナイザー MT221 1台
  • 高純度分析用切換バルブ 2台
  • 高純度用流量調節器 1式
  • 分析カラム
  • データ処理機(EZChrom Elite, パソコン一式）1セット

データ例

He中の各成分1ppm混合ガス

He中の各成分1ppm混合ガス

He中の不純物 数10ppbオーダー

He中の不純物 数10ppbオーダー

測定範囲

検出器
成分名
測定範囲（標準仕様）
測定範囲（高度仕様）
PDD
H2
0.2～100ppm
0.01～2ppm
O2
0.1～100ppm
0.01～2ppm
N2
0.1～100ppm
0.01～2ppm
CH4
0.1～100ppm
0.01～2ppm
CO
0.1～100ppm
0.01～2ppm
CO2
0.1～100ppm
0.01～2ppm
FID+メタナイザー
CH4
0.5～100ppm
0.05～2ppm
CO
0.5～100ppm
0.05～2ppm
CO2
1.0～100ppm
0.05～2ppm

仕様

設置スペース

幅 1.8m（GC、パソコン、プリンタを全て横に並べた場合）
高さ 0.7m
奥行き 0.7m
重量 約80kg

供給ガス

ヘリウム 純度99.9999%以上 圧力400～600kPa
水素 FID燃焼用 純度99.995%以上 圧力400～600kPa
空気 FID助燃用 除湿されミスト・ダスト等を除いたもの 圧力300～400kPa
（高感度仕様の場合、高純度空気を推奨）
計装空気 バルブ駆動用 除湿されミスト・ダスト等を除いたもの 圧力500～700kPa
接続 外径1/8”SL型継手

サンプルガス

接続 外径1/8”SL型継手　　　　　　　　　　　　　　

電源

SC100V 50/60Hz 15A ×1ライン（データ処理部、周辺機器用）
SC100V 50/60Hz 20A ×1ライン（ガスクロマトグラフ用）