純ガス中不純物分析装置

アルゴン中不純物分析装置

• 総合カタログ No.31未掲載

概要

アルゴン中不純物分析装置は、H₂、N₂をPDD検出器で、CH₄、CO、CO₂ をメタナイザーとFID検出器の組合せで、それぞれppmオーダーの定量ができるシステムです。
PDD検出器分析ラインの分析カラムをドライアイス-メタノールで冷却することによりN₂とアルゴンのリテンションタイムを逆転させて分析します。PDD検出器側およびFID検出器側の両分析ラインとも分析対象以外の成分を自動切換バルブによりバックフラッシュおよびプレカットするため、メインカラムの劣化がなく分析時間も短縮できます。自動分析システムのため、スタートスイッチを押すだけでサンプルの注入およびクロマト処理装置のスタートなどができます。

分析成分

主な機器構成

データ例

Arガス（PDD）

Arガス（FID）